多功能微小形貌测量探头系统

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致谢

第一章 绪 论

1.1课题来源、目的及意义

1.2国内外研究现状

1.2.1 形貌与宽度复合系统

1.2.2 高度与宽度复合系统

1.2.3 仪器与多探头复合系统

1.3主要研究内容

第二章 探头相关测量原理

2.1表面形貌测量原理

2.1.1显微干涉结构

2.1.2相位提取算法

2.1.3相位解包裹算法

2.1.4相位转换为高度

2.2 高度与宽度测量原理

2.2.1蓝光DVD读取头的结构和工作原理

2.2.2高度测量原理

2.2.3边缘检测原理

2.3多功能探头组合原理

2.4本章小结

第三章 探头设计

3.1 多功能探头系统器件选型

3.1.1 Linnik干涉仪光源

3.1.2衰减片

3.1.3显微物镜

3.1.4移相方法和移相器

3.1.5调整机构

3.1.6 CCD和镜头

3.1.7采集卡

3.2 探头结构设计

3.3硬件电路设计

3.3.1 蓝光DVD光学读取头的驱动电路

3.1.2 QPD信号处理电路

3.4.1 数据处理系统

3.4.2 图像处理系统

(a)横向分辨力

(b)纵向分辨力

3.6多功能探头实验系统

3.7本章小结

第四章 实验结果与误差分析

4.1测量装置

4.2聚焦传感器标定

4.3测量实例

4.3.1 阶高测量

4.3.2 线宽测量

4.3.3表面形貌测量

4.4 误差分析

4.4.1 机械结构误差

4.4.2 环境因素等其它误差

4.5 本章小结

第五章 总结与展望

5.1总结

5.2 展望

参考文献

攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况

1）参加的学术交流与科研项目

2）发表的学术论文（含专利和软件著作权）

3）获得的学术奖励