基于还原氧化石墨烯场效应管型室温SO2气体传感器的研究

目录

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致谢

1 引言

1.1 研究背景与意义

1.2 基于rGO的SO2气体传感器研究现状

1.2.1 rGO介绍

1.2.2 单纯rGO材料SO2气体传感器

1.2.3 金属氧化物/rGO复合材料SO2气体传感器

1.3 本文研究内容及创新点

1.4 论文结构安排

2 TiO2/rGO FET器件设计

2.1 TiO2/rGO 传感层设计

2.1.1 TiO2/rGO传感层材料的选择

2.1.2 TiO2/rGO传感层对SO2气体的传感机理

2.2 2D TiO2/rGO FET器件结构设计

2.2.1 埋栅结构

2.2.2 叉指电极结构

2.3 3D TiO2/rGO FET器件结构设计

2.4 本章小结

3 TiO2/rGO FET器件制备

3.1 2D TiO2/rGO FET器件制备

3.1.1 牺牲层制备

3.1.2 应力层制备

3.1.3 栅电极制备

3.1.4 栅介质层制备

3.1.5 源、漏叉指电极制备

3.1.6 TiO2/rGO传感层制备

3.2 3D TiO2/rGO FET器件制备

3.3 2D 和3D TiO2/rGO FET形貌表征

3.4 本章小结

4 TiO2/rGO FET器件电学性能检测

4.1 电学测试系统

4.2 2D TiO2/rGO FET电学性能测试

4.2.1 转移特性曲线

4.2.2 输出特性曲线

4.3 3D TiO2/rGO FET电学性能测试

4.3.1 转移特性曲线

4.3.2 输出特性曲线

4.4 本章小结

5 TiO2/rGO FET型SO2气体传感器性能检测

5.1 器件键合

5.2 气体测试系统

5.3 2D TiO2/rGO FET气敏性能测试

5.4 本章小结

6 总结与展望

6.1 总结

6.2 展望

参考文献

作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果

独创性声明

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