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第一章软刻蚀技术的由来及发展概况
1.1微制造技术的发展历史
1.2软刻蚀(Soft Lithography)的发明
1.3软刻蚀技术
1.3.1弹性印章的制作
1.3.2微接触印刷
1.3.3复制模塑
1.3.4转移微模塑
1.3.5毛细微模塑
1.3.6溶剂辅助微模塑
1.3.7近场光刻蚀
1.4软刻蚀的发展现状及应用
1.5本课题的选题意义
参考文献
第二章软刻蚀所用弹性印章的制备和改性
2.1引言
2.2实验部分
2.2.1实验材料
2.2.2仪器分析
2.2.3组份的选择和配比优化
2.2.4硅橡胶的纳米掺杂及性能分析
2.3结果与讨论
2.3.1硅橡胶固化体系最佳固化配比的确定
2.3.2蒙脱土的掺杂对弹性印章性能的影响
2.3.3影响弹性印章的因素
2.3.4弹性印章的制作
参考文献
第三章毛细微模塑法制作聚合物微球的有序结构
3.1引言
3.2实验部分
3.2.1材料和仪器
3.2.2弹性印章的制备
3.2.3基片的处理
3.2.4聚甲基丙烯酸甲酯微球的合成
3.2.5毛细微模塑
3.3结果与讨论
3.3.1自制聚甲基丙烯酸甲酯微球的毛细微模塑
3.3.2单分散聚苯乙烯微球的毛细微模塑
3.3.3毛细微模塑的原理探讨
3.3.4 PS微球的有序排列和影响因素
3.3.5有序排列形成的机理
3.4结论
参考文献
第四章用转移模塑制作聚合物微结构
4.1引言
4.2实验部分
4.2.1材料
4.2.2仪器
4.2.3弹性印章的制作
4.2.4基片的清洗
4.2.5聚合物预聚物的转移微模塑
4.3结果与讨论
4.3.1平面上的聚合物预聚物转移微模塑
4.3.2平面上的聚合物预聚物多层转移微模塑
4.3.3曲面及细小物体上的转移微模塑
4.3.4聚合物溶液的转移微模塑
4.3.5稀土高分子聚合物的转移微模塑
4.3.6转移微模塑的缺陷
4.3.7毛细力微模塑
4.4结论
参考文献
第五章毛细微模塑法制备PbS纳米颗粒复合聚丙烯酸微图形
5.1引言
5.2实验部分
5.2.1药品和材料
5.2.2仪器
5.2.3弹性印章的准备
5.2.4基片的清洗
5.2.5丙烯酸铅溶液制备
5.2.6丙烯酸铅溶液的毛细微模塑
5.3结果与讨论
5.3.1三阶段产物的XRD分析
5.3.2内嵌PbS的PAA薄膜的TEM分析
5.3.3内嵌PbS的PAA薄膜的XPS分析
5.4结论
参考文献
论文发表情况
致谢
勘误表
