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第一章绪论
第二章MEMS 电容式红外光强探测器的结构设计
第三章MEMS 电容式红外光强探测器的制备技术研究
第四章检测电路及系统特性理论定标
第五章总结与展望
参考文献
致谢
在读期间发表的学术论文与取得的研究成果
杨地委;
中国科学技术大学;
气体检测; MEMS工艺; 电容式红外光强探测器; 半桥检测电路; 特性曲线; 制备技术;
机译:基于纳米线的频率选择电容式光电探测器,用于在室温下共振检测红外辐射
机译:具有浮动电极和可热隔离双压电晶片脚的电容式红外探测器的设计与制造
机译:用于室温操作的电容式红外光电探测器
机译:红外FPA成像非制冷MEMS电容式热探测器的FEA仿真,设计与制造
机译:用于红外气体传感器的表面纹理化MEMS的设计和制造。
机译:基于硅通孔的电容式MEMS传感器3D封装技术研究
机译:基于mEms的热电堆红外探测器阵列,用于化学和生物传感
机译:测量存储在测量容积中的测量气体中红外活性气体成分浓度的方法,涉及使用计算出的光强度值对在线路位置检测到的光强度进行归一化
机译:搜寻头,即红外搜寻头,用于检测例如喷气飞机,有附加的探测器,例如红外透明探测器元件,探测入射辐射以及用于说明目标在红外探测器上的辐射的光学器件
机译:用于X射线设备的探测器单元,其传感器既设计为接近开关,也设计为超声波,激光或红外传感器,以便通过扫描移动单元来检测移动单元的位置,大小和对准
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