声明
1 绪论
1.1 研究背景和意义
1.2 国内外研究现状
1.3 课题来源及主要研究内容
1.4 本章小结
2 传感器的位移测量原理研究
2.1 引言
2.2 增量测量与绝对测量的特点
2.3 两种典型栅式传感器绝对测量机理
2.4 时栅位移传感器的测量原理
2.5 本章小结
3 绝对式测量与自校正实现机理研究
3.1 引言
3.2 时栅传感器绝对式测量机理
3.3 基于误差坐标变换的时栅自校正方法
3.4 本章小结
4 传感器设计与仿真分析
4.1 引言
4.2 传感器结构设计
4.3仿真分析与优化设计
4.4 本章小结
5 传感器的实验研究
5.1引言
5.2样机结构方案
5.3 电气系统与实验平台
5.4实验论证与误差分析
5.5 本章小结
6 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
致谢
参考文献
个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果
重庆理工大学;