钙钛矿结构透明导电氧化物SrSnO3的制备与物性研究

目录

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摘要

第一章绪论

1．1透明导电氧化物TCO简介

1．2钙钛矿结构锡酸盐简介

1．3TCO的化学掺杂

1．4应力工程调控

1．5论文的选题意义和研究内容

第二章样品的制备方法和表征方法

2．1．1脉冲激光沉积

2．1．2磁控溅射

2．2样品表征方法

2．2．1X射线衍射

2．2．2原子力显微镜

2．2．3紫外-可见光分光光度计

2．2．4低温强磁场物性测量系统

2．2．5扫描电子显微镜

第三章La掺杂SrSnO3薄膜制备及输运测量

3．1引言

3．2薄膜的制备

3．2．1靶材的制备

3．2．2衬底的处理

3．2．3样品的生长

3．3结果与讨论

3．3．1薄膜的元素分析

3．3．2生长温度对La掺杂SrSnO3薄膜生长质量的影响

3．3．3氧分压对La掺杂SrSnO3薄膜生长质量的影响

3．3．4La掺杂SrSnO3的电输运测量

3．4本章小结

第四章掺杂浓度和晶格应力对于SrSnO3薄膜物性的调控

4．1引言

4．2样品的制备和表征

4．2．1薄膜的制备

4．2．2样品的表征方法

4．3结果与讨论

4．3．1不同La掺杂含量对薄膜结构和电学性能的影响

4．3．2随厚度变化的晶格应力对样品的影响

4．4本章小结

第五章总结与展望

5．1本论文的主要工作和结论

5．2实验的不足之处与工作展望

参考文献

致谢

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