声明
摘要
1.1课题研究背景及意义
1.2国内外研究现状
1.2.1微夹钳研究现状
1.2.2压电式微夹钳关键问题研究现状
1.3论文研究内容及结构
第2章大行程柔性微夹钳的结构设计
2.1引言
2.2驱动及传感机构设计
2.3力/位移传递机构设计
2.3.1位移放大机构
2.3.2平行四边形导向机构
2.4LBL型大行程柔性微夹钳总体结构设计
2.5本章小结
第3章柔性微夹钳的静力学建模分析
3.1引言
3.2柔性铰链的柔性建模
3.3LBL型微夹钳的柔性建模
3.4静态仿真分析与验证
3.5本章小结
第4章柔性微夹钳夹持过程动态分析
4.1引言
4.2微纳夹持操作分析
4.2LBL型微夹钳的运动学分析
4.3LBL型微夹钳的动力学分析
4.4无夹持状态的模态仿真分析
4.5本章小结
第5章柔性微夹钳的微纳操作实验
5.1引言
5.2柔性微夹钳实验系统
5.3柔性微夹钳的力学性能测试
5.3.1柔性微夹钳的静力学性能测试
5.3.2柔性微夹钳的动力学性能测试
5.4柔性微夹钳的力/位移控制切换
5.4.1力/位移控制切换策略
5.4.2微纳操作实验
5.5本章小结
总结与展望
参考文献
攻读硕士学位期间获取的科研成果及奖励
致谢
山东大学;