声明
第1章 绪论
1.1 课题研究背景和意义
1.2 国内外研究现状
1.2.1 微细磨削工艺及微磨具
1.2.2 化学机械磨削工艺
1.2.3 化学机械磨削专用磨具
1.3 课题来源和研究内容
1.4 本章小结
第2章 金刚石微磨具的磨损机理与试验研究
2.1 金刚石微磨具磨损试验设计
2.1.1 微细磨削试验平台与检测设备
2.1.2 试验设计方案
2.2 试验结果与分析
2.2.1 金刚石微磨具的磨损形式
2.2.2 微磨具磨损量评价
2.2.3 微磨具磨粒磨损比例
2.2.4 微磨具磨损对磨削表面粗糙度的影响
2.2.5 微磨具磨损对平均边缘碎裂宽度的影响
2.3 本章小结
第3章 化学机械微磨具制备研究
3.1 化学机械微细磨削加工原理
3.2 微磨具的配方设计
3.2.1 磨料的选用
3.2.2 结合剂的选用
3.2.3 填充剂的选用
3.2.4 微磨具的成分配比
3.3 微磨具的制备工艺
3.3.1 模具设计
3.3.2 微磨具制备流程
3.4 本章小结
第4章 化学机械微磨具的磨削性能研究
4.1 化学机械微磨具磨削性能试验方案
4.2 试验结果与分析
4.2.1 试验结果与极差分析
4.2.2 各配方成分对微磨具性能的影响
4.3 微磨具磨削性能综合评价
4.3.1 微磨具配方成分优化
4.3.2 试验验证
4.4 本章小结
第5章 化学机械微细磨削材料去除机理研究
5.1 磨削表面理化性能分析
5.1.1 检测仪器与原理
5.1.2 检测结果与分析
5.2 磨屑理化性能分析
5.2.1 检测仪器与原理
5.2.2 检测结果与分析
5.3 化学机械微细磨削材料去除机理
5.4 本章小结
总结与展望
总结
展望
参考文献
附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录
致谢
湖南大学;