微纳米测量环境恒温气流组织及均匀温度场数值模拟

摘要

本论文所研究的课题来源于国家自然科学基金，重大国际合作项目“纳米测控环境控制机理和关键技术研究”。 环境保障一直是测控领域中急待解决的问题，在高精度的纳米测控中环境保障更成为影响测控结果的关键因素。高精度的纳米测量是建立在对环境的严格控制的基础上的，真正需要高精密测量环境的只是测量仪器本身，所以研究小型的超高精密的恒温恒湿洁净抗振的纳米测量环境具有重要的意义。 由于测量仪器在测试腔内工作时会产生热量，造成温度的不均匀，从而影响了测量结果。除了对测试腔的恒温恒湿气流进行有效的组织以尽快达到温度的动态平衡外，还可以将测试腔内的局部热源进行隔离，单独进行热补偿。 数值模拟恒温恒湿测试腔内气流组织，设计合理箱体结构，使测试腔内以最快的速度达到温度场的均匀，以满足温度精度要求及均匀性指标，是本课题的主要目的。

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致谢

第一章绪论

第二章高精度小型纳米测量恒温箱的结构概述及分析

第三章恒温箱气流组织及均匀温度场的CFD模型

第四章恒温箱气流组织及均匀温度场的CFD分析

4.1半导体制冷片冷量传递与制冷强化

4.2恒温腔恒温流场与温度场的CFD分析

第五章箱体结构的改进及分析

第六章恒温箱温度控制系统

第七章总结与展望

参考文献

在读期间发表的论文

附录