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致谢
第一章 绪论
第二章 纳米三坐标测量机系统简介
第三章 光栅信号采集、处理与位移计算
第四章 纳米定位技术
第五章 测头定位控制技术
第六章 软件系统
第七章 实验结果与分析
第八章 结论与讨论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
程方;
合肥工业大学;
纳米三坐标测量机; 定位控制; LDGI; DVD测头; 位移测量;
机译:基于光辐射压力控制的纳米三坐标测量机振动探测技术
机译:光学三坐标测量机:三坐标测量机的未来?
机译:基于激光陷获和Mirau干涉仪的纳米三坐标测量机新探针技术的基础研究
机译:微纳米三坐标测量机的接触式探头的校准
机译:借助基于LabVIEW的控制包对流速和温度进行交互式反馈控制。
机译:在NIST使用几何测量机和M-48三坐标测量机进行光学件的外形分析
机译:纳米三坐标测量机用光纤捕获探头的研究
机译:三坐标测量机的性能评估与质量控制系统
机译:使用环境信息或三坐标测量机信息控制三坐标测量机的装置和方法
机译:臂式三坐标测量机及基座支撑臂式三坐标测量机的倾斜校正方法
机译:校准关节臂三坐标测量机的方法及相应的关节臂三坐标测量系统
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