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【6h】

激光显微切割中的精密移动控制技术研究

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目录

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引 言

1 绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 激光显微切割移动控制系统

1.2.2 校准算法

1.2.3 轨迹规划算法

1.3 论文研究内容及结构安排

2 激光显微切割中移动控制理论基础

2.1 激光显微切割系统原理

2.2 精密移动控制中屏幕校准算法理论

2.2.1 电阻/电容屏幕校准算法原理

2.2.2 坐标转换测量平差原理

2.3 精密移动控制中轨迹规划算法理论

2.3.1 角点检测算法

2.3.2 轨迹规划算法

2.4 本章小结

3 基于EIV平差的激光显微切割五点分区坐标校准方法

3.1 坐标转换建模及整体最小二乘求解

3.1.1 四元数旋转矩阵

3.1.2 EIV模型

3.1.3 最小二乘求解

3.2 校准坐标点选取及优化

3.3 MATLAB算法效率仿真验证

3.4 激光显微切割系统实验平台

3.5 激光显微切割坐标校准实验

3.5.1 优选校准坐标点数及点位实验

3.5.2 线性算法对比实验

3.6 本章小结

4 基于误差补偿的激光显微切割轨迹规划

4.1 绳索-弹簧传动弧面控制装置及其动力学模型分析

4.1.1 绳索-弹簧传动弧面控制装置

4.1.2 绳索-弹簧传动弧面控制装置运动学模型分析

4.2 切割曲线型值点自动选取及B样条轨迹规划

4.2.1 角点及转向点CSS检测

4.2.2 三次B样条轨迹规划

4.2.3 非线性误差补偿

4.3 激光显微切割轨迹规划系统实验平台

4.3.1 激光显微切割扫描控制系统模型分析

4.3.2 激光显微切割轨迹规划系统实现

4.4 激光显微切割轨迹规划算法MATLAB仿真实验

4.5 激光显微切割轨迹规划实验

4.5.1 一维移动平台轨迹规划实验

4.5.2 激光显微切割平台轨迹规划实验

4.5.3 胚胎应用实验

4.6 本章小结

5 总结与展望

5.1 工作总结

5.2 工作展望

参考文献

在学研究成果

致 谢

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著录项

  • 作者

    刘云;

  • 作者单位

    宁波大学;

  • 授予单位 宁波大学;
  • 学科 集成电路工程
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 闻路红,胡舜迪,洪欢欢;
  • 年度 2019
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 肿瘤学 ;
  • 关键词

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