声明
字母注释表
第一章 绪 论
1.1课题的研究背景和意义
1.2研究现状
1.3存在的问题
1.4本文关注的科学问题和研究目标
1.5本文的主要研究工作
第二章 平行板静电激励方式的动力学特性
2.2平行板静电激励悬臂梁振动的动力学特性的分析
2.3仿真结果分析
2.4实验验证
2.5本章小结
第三章 边缘静电力的数学模型
3.2平行板静电激励方式中的吸合现象
3.3边缘静电力的数学模型
3.4边缘静电力模型的局限性
3.5本章小结
第四章 边缘静电力引起微梁的强迫振动
4.2边缘静电力引起微梁的强迫振动
4.3仿真结果分析
4.4实验验证
4.5本章小结
第五章 边缘静电力引起微梁的参激振动
5.2边缘静电力引起微梁的参激振动
5.3仿真结果及应用
5.4本章小结
第六章 总结和展望
6.2工作展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢
天津大学;
