声明
第一章 绪论
1.1 库尔特计数器简介
1.2 微流控和纳米孔
1.3 研究意义与研究内容
第二章 MEMS亚微米通道仿真与设计
2.1 微米流道检测微米和亚微米粒子实验仿真
2.2 亚微米流道检测纳米粒子实验仿真
2.3 基于牺牲层工艺的亚微米通道芯片设计
2.4 基于牺牲层工艺的亚微米流道芯片加工流程设计
2.5 PDMS-玻璃亚微米流道芯片设计
2.6 PDMS-玻璃亚微米流道芯片加工流程设计
2.7 本章小结
第三章 亚微米通道芯片制造、测试与检测系统搭建
3.1 制造基于牺牲层工艺的亚微米通道微流控芯片
3.2 制造PDMS-玻璃亚微米流道微流控芯片
3.3 检测系统搭建与测试
3.4 数据处理程序
3.5 本章小结
第四章 生物分子检测实验结果及分析
4.1 漂移基线去除结果及分析
4.2 硅基微流控芯片的亚微米粒子检测结果
4.3 微米粒子检测结果及分析
4.4 亚微米粒子检测及结果
4.5 质粒DNA检测及结果
4.6 细胞外泌体检测及结果
4.7 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 论文主要研究内容与成果
5.2 论文的创新点
5.3 未来工作展望
参考文献
附录A
发表论文和参加科研情况说明
致谢
天津大学;