石墨烯的红外增强吸收及其光电探测响应特性研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1 红外探测技术概述

1.2 石墨烯光电探测器的研究现状

1.2.1 石墨烯光伏型探测器研究现状

1.2.2 石墨烯光导型探测器研究现状

1.2.3 石墨烯光电流增益探测器研究现状

1.2.4 石墨烯微纳结构光电探测研究现状

1.3 论文选题依据及创新点

1.4 论文的内容安排

第二章 石墨烯的光吸收和光探测原理

2.1 石墨烯的基本光学性质

2.2 石墨烯的光吸收过程

2.3 石墨烯的光探测机理

2.3.1 光电导效应

2.3.2 光伏效应

2.3.3 光电流增益效应

2.4 本章小结

第三章 平面薄膜结构中的石墨烯全吸收理论预测

3.1 Salisubry屏理论

3.2 传输矩阵理论模型

3.3 石墨烯Salisbury屏光吸收仿真结果

3.4 周期性多层膜石墨烯结构的光吸收仿真结果

3.5 本章小结

第四章 石墨烯Salisbury屏的红外增强吸收特性

4.1 石墨烯Salisbury屏的材料和结构设计

4.2 石墨烯Salisbury屏的实验制备

4.2.1 蒸发镀膜制备

4.2.2 PECVD薄膜生长

4.2.3 石墨烯的转移

4.3 石墨烯Salisbury屏的吸收性能实验测试与分析

4.3.1 红外吸收光谱测试方法

4.3.2 测试结果与分析

4.4 本章小结

第五章 石墨烯-硅的红外光电探测特性

5.1 石墨烯-硅异质结的结构设计

5.2 石墨烯-硅异质结的制备

5.2.1 光刻图形化

5.2.2 酸法腐蚀

5.3 石墨烯-硅异质结的性能测试

5.3.1 红外光电响应谱测试方法

5.3.2 测试结果与分析

5.4 本章小结

第六章 结论与展望

6.1 论文的主要工作总结

6.2 后续研究工作展望

致谢

参考文献

攻读博士学位期间取得的成果