声明
第1章 绪论
1.1 课题研究背景和意义
1.2 声表面波(SAW)传感器
1.2.1声表面波器件的简介
1.2.2声表面波器件的工作原理与特点
1.2.3声表面波传感器的分类
1.3湿度传感器的发展
1.3.1 LC无线无源湿度传感器
1.3.2声表面波无线无源湿度传感器
1.4本论文的主要工作内容以及安排
1.4.1本论文的主要内容
1.4.2本论文的结构安排
第2章 声表面波无线无源阻抗传感器理论原理与实践
2.1无线传感系统
2.2声表面波无线无源传感器的研究现状
2.3阻抗传感器
2.3.1电容型传感器
2.3.2 电感型传感器
2.3.3 电阻型传感器
2.4网络分析仪简介
2.5声表面波谐振器的结构以及等效电路
2.5.1压电衬底
2.5.2叉指换能器(IDT)的结构
2.5.3声表面波器件等效模型
2.6声表面波谐振电路的回波特性
2.7声表面波谐振器的匹配设计
2.7.1阻抗匹配
2.7.2史密斯圆图
2.7.3 匹配电路的类型
2.7.4 ADS仿真结果
2.8传感器天线
2.9声表面波外接阻抗传感器
2.10本章小结
第3章 湿度阻抗传感器的研究
3.1氧化石墨烯的制备途径和结构模型
3.2氧化石墨烯的感湿机理以及电学特性
3.3基于氧化石墨烯湿度传感器的制造流程与工艺
3.4氧化石墨烯湿度传感器的等效模型
3.4.1阻抗分析仪
3.4.2等效模型
3.5湿度传感器在不同湿度环境下的阻抗的测量
3.6本章小结
第4章 基于声表面波谐振器湿度传感器的试验与结果分析
4.1湿度环境模拟设计
4.1.1 氮气模拟
4.1.2 气体流量计
4.1.3 模拟湿度环境的搭建
4.2基于声表面波谐振器湿度传感器的系统测试
4.2.1 ADS仿真软件仿真整个系统
4.2.2声表面波湿度传感器实验部分
4.3本章小结
第5章 总结和展望
5.1全文内容总结
5.2创新点
5.3.1不足
5.3.2展望
致谢
参考文献
附录一
作者在读期间发表的学术论文及参加的科研项目
杭州电子科技大学;
