集成电路测试仪的校准设计与实现

目录

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第一章绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 国内外研究现状

1.3 本课题的主要内容和组织结构

第二章集成电路测试仪及其校准

2.1 集成电路测试仪

2.1.1 IC 测试仪的硬件结构

2.1.2 IC 测试仪上位机软件

2.1.3 IC 测试仪工作流程

2.3.1 测量校准原理

2.3.2 IC 测试仪校准的特点

2.3.3 IC 测试仪校准参数分析

2.4 本章小结

第三章集成电路测试仪校准方案设计

3.1校准方案设计

3.1.1 被校准参数测量

3.1.2 测量参数的误差修正

3.1.3 校准测试点的选取

3.1.4 校准仪器的选择

3.1.5 总体校准方案

3.2 校准流程

3.2.1 直流参数的总体校准流程

3.2.2 数字通道同步延迟的总体校准流程

3.3 本章小结

第四章集成电路测试仪校准板设计

4.1 校准板设计要求

4.2.1 校准板接口设计

4.2.2 数字通道选择

4.2.3 DPS 校准电路

4.2.4 数字通道信号走线

4.3 校准板整体结构

4.4 本章小结

第五章集成电路测试仪校准调试

5.1 直流参数校准调试

5.1.1 PPMU 校准与 PE 校准

5.1.2 DPS 校准

5.2 数字通道同步延迟校准调试

5.3 本章小结

第六章总结与展望

致谢

参考文献