基于金属氧化物薄膜的声表面波气/湿敏传感器的研究

目录

声明

第一章 绪 论

1.1 研究工作的背景与意义

1.2.1 气敏传感器

1.2.2 湿敏传感器

1.2.3 气/湿敏传感器的选择

1.3 声表面波气/湿敏传感器的研究现状

1.4 本论文主要的创新点和贡献

1.5 本论文的结构安排

第二章 SAW传感器的制备与敏感薄膜的表征以及传感机理

2.1 SAW传感器的结构与制备

2.1.1 SAW谐振器

2.1.2 敏感薄膜的镀膜方法

2.1.3 实验试剂与设备

2.1.4 SAW传感器的制备流程

2.1.5 SAW传感器的测试设备

2.2 实验平台的搭建

2.3 SAW传感器主要特性参数

2.4 敏感薄膜的表征

2.5 SAW传感器的机理

2.5.1 弹性模量

2.5.2 质量

2.5.3 电导率

2.6 本章小结

第三章 基于AlO(OH)薄膜的SAW气/湿敏传感器

3.1 AlO(OH)薄膜的制备

3.2.1 物相表征

3.2.2 微观形貌表征

3.2.3 比表面积和孔分布表征

3.2.4 官能团表征

3.2.5 化学价态表征

3.3.1 气敏测试

3.3.2 选择性测试

3.3.3 稳定性测试

3.3.4 性能比较

3.3.5 气敏传感机理

3.3.6 湿敏测试及其机理

3.4 本章小结

第四章 基于ZnO-Al2O3薄膜的SAW气/湿敏传感器

4.1 敏感薄膜的制备方法

4.2.1 物相表征

4.2.2 微观形貌表征

4.2.3 元素表征

4.2.4 化学价态表征

4.2.5 比表面积和孔分布表征

4.3.1 探索性实验及机理解释

4.3.2 气敏传感机理

4.3.3 气敏测试

4.3.4 选择性和稳定性测试

4.3.5 湿敏测试及其机理

4.4 本章小结

第五章 全文总结与展望

5.1 全文总结

5.2 后续工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果