声明
摘要
1．1课题研究背景目的及意义
1．2测力薄膜传感器的研究现状
1．2．1薄膜传感器力学性能概述
1．2．2薄膜制备技术介绍
1．2．3薄膜传感器的应用与发展
1．3刀具测力系统的发展现状
1．4论文的主要研究内容
2切削力测量用薄膜传感器力学特性的基础理论研究
2．1嵌入薄膜传感器切削测力系统的设计与分析
2．1．1切削测力系统模型的结构设计
2．1．2切削测力系统的测量原理
2．2薄膜传感器的结构尺寸设计
2．2．1基底的设计
2．2．2薄膜电阻栅的设计
2．3基于界面韧性薄膜粘结性的理论分析
2．3．1基底与薄膜的粘结性分析
2．3．2多层薄膜间的粘结性分析
2．4薄膜传感器的抗塑性变形能力与疲劳强度
2．5本章小结
3基于粘结性理论复合绝缘层的制备试验分析
3．1复合绝缘层的制备
3．1．1氮化硅薄膜的制备
3．1．2过渡层薄膜的制备
3．1．3过渡层薄膜的比较
3．2复合绝缘层的粘结性测试分析
3．2．1载荷拉伸试验
3．2．2薄膜厚度对粘结性的影响
3．2．3胶带法测试薄膜的粘结性
3．3复合绝缘层的表面形貌分析
3．4本章小结
4薄膜制备工艺与力学性能映射关系的研究
4．1制备工艺对氧化铝薄膜力学性能的影响研究
4．1．1氧化铝薄膜的厚度
4．1．2氧化铝薄膜的弹性模量
4．1．3氧化铝薄膜的纳米硬度
4．2制备工艺对镍铬薄膜力学性能的影响研究
4．2．1镍铬薄膜的厚度
4．2．2镍铬薄膜的弹性模量与纳米硬度
4．2．3镍铬薄膜的应变灵敏度系数
4．3基于灰色关联度法评估工艺参数耦合与力学性能映射关系
4．3．1氧化铝薄膜各项的灰色关联分析
4．3．2镍铬薄膜各项的灰色关联分析
4．4本章小结
5切削力测量用薄膜传感器的力学标定
5．1薄膜传感器安装高度的优化
5．2薄膜传感器应变效应的试验测试
5．3静力学标定试验
5．3．1应变式薄膜传感器的标定
5．3．2嵌入薄膜传感器切削测力系统的标定
5．4本章小结
6总结与展望
6．1论文主要结论
6．2主要创新点
6．3展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果
致谢
中北大学;
