单层衍射光栅位移传感器的设计与实现

目录

声明

1 绪论

1.1 光栅位移传感器概述

1.2 光栅位移传感器研究现状

1.2.1 国外光栅位移传感器研究现状

1.2.2 国内光栅位移传感器研究现状

1.3 研究目的及意义

1.4 课题来源及研究内容

1.4.1 课题来源

1.4.2 研究内容

1.4.3 论文组织架构

2 单层衍射光栅位移检测光路设计

2.1 单层衍射光栅位移检测理论概述

2.2单层衍射光栅位移检测理论分析

2.2.1 单层衍射光栅光学分析

2.2.2 光栅参数仿真优化

2.2.3单层衍射光栅加工

2.3 偏振相移设计

2.3.1 偏振相移扩展量程原理

2.3.2 偏振相移光路设计

2.4 小结

3 细分插值电路研究

3.1 正余弦信号细分插值技术概述

3.2 反正切细分插值的实现及影响因素

3.2.1 反正切算法的实现

3.2.2反正切算法的影响因素

3.3 反正切算法的误差仿真分析

3.3.1 偏置误差对反正切算法的影响

3.3.2 幅值误差对反正切算法的影响

3.3.3 相位误差对反正切算法的影响

3.4 小结

4 信号处理电路的设计与实验

4.1信号调理电路设计

4.1.1 偏置误差调理电路

4.1.2 相位误差调理电路

4.1.3 幅值误差调理电路

4.1.4调理电路实验验证

4.2细分插值电路设计

4.2.1 细分插值电路设计

4.2.2细分插值电路模拟实验

4.3单层衍射光栅位移传感器实验验证

4.3.1位移传感器光路搭建

4.3.2位移分辨率验证

4.3.3实验结果分析

4.4小结

5 总结与展望

参考文献

攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果

致谢