论文说明
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摘要
第1章绪论
1．1研究背景与研究意义
1．2研究现状
1．2．1 MEMS悬臂梁结构在流体中振动特性和研究现状
1．2．2微纳传感器领域存在需要攻克的难题
1．3本文选题依据和主要研究内容
1．3．1本文的选题依据
1．3．2本文的主要研究内容
第2章悬臂梁在真空中的共振特性
2．1引言
2．2连续体在真空中共振特性
2．3真空中微悬臂梁的有限元仿真
2．4本章小结
3．1引言
3．2非粘性流固耦合理论
3．2．1非粘性流固耦合理论的发展
3．2．2悬臂梁非粘性流固耦合理论
3．3非粘性条件下微悬臂梁的有限元仿真
3．4本章小结
4．1引言
4．2粘性流固耦合理论
4．2．1粘性流固耦合理论的发展
4．2．2微悬臂梁粘性流固耦合理论的推导
4．3粘性条件下微悬臂梁的有限元仿真
4．4本章小结
5．1引言
5．2实验部分总体介绍
5．2．1实验流程
5．2．2实验原理
5．3实验仪器
5．3．1真空实验平台
5．3．2显微观测平台
5．3．3激光测试平台的搭建与测试
5．4本章小结
6．1引言
6．2模型正确性的验证
6．2．1与理论模型进行对比
6．2．2与已发表的实验结果对比
6．2．3实验结果与有限元仿真结果的对比
6．3在不同环境下微悬臂梁共振特性的变化情况
6．3．1引言
6．3．2共振频率的变化
6．3．3共振模态的变化
6．4实验结果拟合
6．5本章小结
7．1总结
7．2展望
参考文献
致谢
附录
东北大学;
