空气阻尼对微纳悬空薄膜动态特性影响的机理研究

目录

论文说明

声明

摘要

1．1研究背景和意义

1．2微纳谐振式传感器的研究现状

1．3本文主要研究内容

2．1概述

2．2薄膜振动模型

2．3微方膜传感器的理论模型

2．3．1 微方膜在真空中振动

2．3．2微方膜在流体中振动

2．4微方膜传感器的模型有限元仿真

2．4．1真空中微方膜的有限元仿真

2．4．2流体中微方膜的有限元仿真

2．5本章小结

3．1概述

3．2微圆膜传感器的理论模型

3．2．1微圆膜在真空中振动

3．2．2微圆膜在流体中振动

3．3微圆膜传感器的模型有限元仿真

3．3．1真空中微圆膜的有限元仿真

3．3．2流体中微圆膜的有限元仿真

3．4本章小结

第4章有残余应力的微圆膜传感器的建模分析

4．1概述

4．2有残余应力的微圆膜传感器的理论模型

4．2．1有残余应力的微圆膜在真空中的振动

4．2．2有残余应力的微圆膜在流体中的振动

4．3有残余应力的微圆膜传感器的模型有限元仿真

4．3．2流体中有残余应力的微圆膜有限元仿真

4．4本章小结

5．1概述

5．2实验测量原理

5．2．1测量原理

5．2．2激励信号

5．2．3采样方法

5．3平台搭建

5．3．1信号发生装置

5．3．2真空系统实验平台

5．3．3激光位移测量装置

5．4膜在不同真空度下的共振频率的实验验证

5．4．1 圆膜在不同真空度下的共振频率的实验验证

5．4．2方膜在不同真空度下的共振频率的实验验证

5．4．3有残余应力的圆膜在不同真空度下的共振频率的实验验证

5．5误差分析

5．6本章小结

6．1概述

6．2微方膜与圆膜的对比分析

6．2．1共振频率的变化

6．2．2共振模态的变化

6．3微膜在不同真空度下共振频率的变化特性

6．4本章小结

第7章总结与展望

7．1研究总结

7．2展望

参考文献

致谢

附录