声明
1 绪论
1.1 课题研究背景
1.2 国内外研究现状
1.3 主要研究内容与课题来源
2 抛光机控制系统设计
2.1 抛光机控制系统设计需求
2.2 控制系统硬件研制
2.3 控制系统软件开发
2.4 本章小结
3 抛光机主轴运动控制系统设计及测试
3.1 主轴运动控制系统设计需求
3.2 主轴运动控制系统设计
3.3 主轴运动控制系统Simulink仿真
3.4 主轴运动控制系统性能测试
3.5 本章小结
4 抛光机盘面测量控制系统设计及测试
4.1 盘面测量控制系统设计需求
4.2 盘面测量控制系统设计及误差分析
4.3 盘面测量数据处理系统开发
4.4 盘面测量系统性能测试及精度检验
4.5 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
大连理工大学;
