超短脉冲激光制备周期性微纳结构的研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1概述

1.2表面微纳结构的应用

1.3 传统制备微纳结构的方法

1.4 课题研究背景

1.5 本文主要内容

第二章 激光表面微纳加工技术

2.1 激光微纳加工

2.2 激光干涉技术

2.3 激光诱导表面周期结构

2.4 本章小结

第三章 基于激光干涉烧蚀的硅表面微纳结构制备的研究

3.1 引言

3.2 纳秒激光干涉烧蚀实验步骤及原理

3.3 激光干涉烧蚀表面周期性微纳结构

3.4 FDTD模拟计算光场变化

3.5 本章小结

第四章 基于激光诱导的ITO薄膜亚波长结构制备研究

4.1 引言

4.2 ITO薄膜上均一亚波长结构的制备

4.3 光斑能量分布对光栅周期的影响

4.4 激光干涉技术与激光诱导技术的对比

4.5 本章小结

第五章 总结与展望

参考文献

作者简介及科研情况

致谢