采用网格电极显微热极化印刷具有周期性微纳结构梯度折射率超微透镜的制备方法

摘要

本发明公开了一种采用网格电极热极化印刷具有周期性微纳结构梯度折射率超微透镜的制备方法，以表面涂覆了导电线的含M玻璃作为盖玻片和样品，采用Ni、Cu、Ag、ITO至至少一种材料制成的导电网作阳极，硅片作阴极，对样品含M玻璃进行显微热极化处理，利用热场辅助周期性电场实现多种微纳结构超微透镜的制备。本发明能通过调整导电网格结构和尺寸、热极化气氛、热极化电压、热极化温度等热极化参数来达到控制样品的梯度折射率的分布。本发明方法可单次工艺制备具有周期性微纳结构梯度折射率的超微透镜，能简单地将所需周期性结构印刷在光学材料表面及亚表面，图案分辨率可达微米甚至纳米级，微结构梯度折射率分布与尺寸可控，制备效率高。