洁净石墨烯振子制备、特性与微吸附检测研究

目录

声明

1第一章 绪论

1.1 研究背景及意义

1.2文献综述

1.2.1 石墨烯基本特性方面

1.2.2 石墨烯振子微吸附检测方面

1.2.3 石墨烯噪声特性研究现状及应用方面

1.2.4 存在的问题分析

1.3 论文研究内容及组织结构

2第二章 石墨烯振子制备技术研究

2.1 石墨烯振子制备工艺流程设计

2.1.1 基于LOR基底解理石墨烯振子制备工艺流程简介

2.1.2 基于LOR基底CVD石墨烯振子制备工艺流程

2.2 石墨烯振子制备关键技术研究

2.2.1 CVD石墨烯干法转移

2.2.2 PMMA/LOR显影曝光参数优化

2.3 石墨烯振子制备

2.3.1 Corbino石墨烯振子制备

2.3.2 带状石墨烯振子制备

2.4 本章小结

3第三章 石墨烯振子清洁与洁净度评估

3.1 石墨烯振子过电流退火

3.1.1 石墨烯振子过电流退火清洁过程

3.1.2 石墨烯振子过电流退火结果分析

3.2 石墨烯掺杂机理分析及消除

3.2.1 石墨烯掺杂机理及异常电子掺杂现象分析

3.2.2 石墨烯振子掺杂演化与消除过程

3.3 石墨烯振子洁净度评估

3.3.1 基于弹道石墨烯理论电导模型的洁净度评估

3.3.2 基于电导-载流子浓度对数关系的洁净度评估

3.3.3 基于FP共振的洁净度评估

3.4 本章小结

4第四章 石墨烯振子微吸附检测失效问题分析

4.1 石墨烯振子微吸附分布问题

4.2 Corbino石墨烯振子微吸附频移特性理论研究

4.2.1 Corbino石墨烯振子动力学模型与谐振特性分析

4.2.2 Corbino石墨烯振子微吸附谐振检测失效分析

4.3 Corbino石墨烯振子微吸附检测失效仿真分析

4.3.1 微吸附质量大小对频响特性影响分析

4.3.2 微吸附分布频移特性与谐振检测失效分析

4.4本章小结

5第五章 石墨烯1/f噪声特性研究

5.1 石墨烯1/f噪声机理分析

5.1.1 基于随机隧穿的石墨烯载流子数涨落噪声机理分析

5.1.2 基于散射截面随机跃迁的石墨烯迁移率涨落噪声机理分析

5.2 石墨烯/h-BN隧穿晶体管1/f噪声特性研究

5.2.1 石墨烯/h-BN隧穿晶体管1/f噪声检测原理

5.2.2 石墨烯/h-BN隧穿晶体管制备

5.2.3 石墨烯/h-BN隧穿晶体噪声特性研究

5.3 洁净悬浮石墨烯本征1/f噪声特性研究

5.3.1 洁净悬浮石墨烯本征1/f噪声检验

5.3.2 洁净悬浮石墨烯本征1/f噪声特性研究

5.4 本章小结

6第六章 石墨烯振子微吸附1/f噪声-谐振检测技术研究

6.1 基于1/f噪声的石墨烯振子微吸附检测

6.1.1 基于1/f噪声的石墨烯振子微吸附检测方法

6.1.2 基于1/f噪声的石墨烯振子微吸附检测实验与分析

6.2 石墨烯振子微吸附1/f噪声-谐振联合检测

6.2.1 石墨烯表面微吸附1/f噪声-谐振联合检测方法

6.2.2 石墨烯振子谐振检测研究

6.2.3 Corbino石墨烯振子微吸附1/f噪声-谐振联合检测实验

6.3 本章小结

7第七章 结论与展望

7.1 研究结论

7.2 研究展望

致 谢

参考文献

10作者在学期间取得的学术成果