基于SPR的贵金属纳米薄膜介电常数的测量与研究

目录

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第 1 章 绪论

1.1 贵金属纳米薄膜的光学性质

1.2 贵金属纳米薄膜介电常数的研究中存在的问题

1.2.1 介电常数模型与实验测量

1.2.2 经典理论模型与实验结果的差异

1.2.3 介电常数与厚度关系

1.3 薄膜介电常数与厚度的常用测量方法

1.3.1 反射透射法

1.3.2 表面等离子体共振法

1.3.3 椭圆偏振法

1.3.4 白光干涉法

1.4 论文章节安排

第 2 章 基于SPR效应的贵金属薄膜介电常数与厚度的传感模型及仿真分析

2.1 介电常数传感模型

2.1.1 SPR效应波矢匹配模型

2.1.2 基于SPR角度调制法的介电常数传感模型

2.1.3 椭偏法的参照模型

2.2 纳米薄膜厚度的传感模型

2.2.1 基于SPR相位调制法的薄膜厚度传感模型

2.2.2 基于白光干涉的厚度测量模型

2.3 基于SPR效应的纳米薄膜测量性能的仿真分析

2.3.1 SPR多波长测量性能的仿真

2.3.2 薄膜厚度参数对SPR测量性能的影响

2.3.3 棱镜材料对SPR测量性能的影响

2.3.4 相位差值与薄膜厚度的关系

2.4 本章小结

第 3 章 贵金属纳米薄膜的制备与介电常数测量

3.1 贵金属纳米薄膜制备的关键技术

3.1.1 电子束蒸发法

3.1.2 磁控溅射法

3.1.3 成膜速率和表面粗糙度

3.2 基于角度调制型SPR的贵金属纳米薄膜介电常数测量实验

3.2.1 角度调制型SPR实验系统的搭建

3.2.2 SPR介电常数测量结果

3.2.3 结果讨论与误差分析

3.3 贵金属纳米薄膜介电常数的对照测量实验

3.3.1 椭偏仪测量介电常数的实验

3.3.2 结果讨论与误差分析

3.4 本章小结

第 4 章 贵金属纳米薄膜介电常数与厚度的关联性实验

4.1 贵金属纳米薄膜厚度的准确测量

4.1.1 椭偏法厚度测量

4.1.2 角度调制型SPR厚度测量

4.2 贵金属薄膜介电常数与厚度模型

4.3 多厚度贵金属薄膜的介电常数测量

4.3.1 不同厚度非超薄贵金属薄膜的介电常数测量

4.3.2 贵金属薄膜的厚度影响分析

4.3.3 不同厚度超薄贵金属薄膜的介电常数测量

4.3.4 超薄贵金属薄膜的厚度影响分析

4.4 本章小结

第 5 章 总结与后续工作

致谢

参考文献

攻读硕士期间发表论文