不锈钢基底厚膜应变传感器的制备与性能研究

目录

第1章绪 论

1.1 课题背景与意义

1.2.1 应变传感器概述

1.2.2厚膜应变传感器概述

1.2.3 传感器结构

1.3 现有研究中的问题

1.4 本文的主要研究内容

第2章不锈钢基底厚膜电阻的制备与性能研究

2.1 引言

2.2.1 实验材料与设备

2.2.2 不锈钢基底厚膜电阻制备工艺

2.2.3 试件尺寸与图形设计

2.3 厚膜电阻基本性能

2.3.1 性能指标与测试方法

2.3.2 实验结果与分析

2.4 厚膜电阻基本性能优化

2.4.1 优化参数

2.4.2 不同浓度厚膜电阻性能数据

2.4.3 结果讨论

2.5.1 阻值稳定性

2.5.2 尺寸效应

2.6 本章小结

第3章传感器转换元件结构设计

3.1 引言

3.2 结构设计原理分析

3.2.1 应变放大系数

3.2.2 传感器灵敏度系数

3.2.3 元件线性变形范围

3.3 传感器结构设计

3.3.1 矩形结构形式

3.3.2 双环结构形式

3.3.3 结构尺寸设计

3.3.4 转换元件结构模拟

3.3.5 转换元件的形状优化

3.4 本章小结

第4章厚膜应变传感器综合性能

4.1 引言

4.2.1 基底结构制作

4.2.2 厚膜电阻制备

4.2.3 实验设备

4.2.4 数据采集

4.2.5 设备的可行性

4.3 静态性能指标测试

4.3.1 灵敏度系数

4.3.2 机械滞后

4.3.3 重复性

4.3.4 线性度

4.3.5零点漂移

4.3.6室温蠕变

4.3.7 线性工作范围

4.3.8 疲劳

4.3.9 温度特性

4.5 本章小结

结 论

参考文献

声明

致 谢