SMR全绝缘布拉格反射栅的设计、制备与表征

目录

第1章 绪 论

1.1 课题背景及研究的目的和意义

1.2 体声波谐振器技术国内外研究现状

1.2.1 体声波谐振器的基本结构形式

1.2.2 薄膜体声波谐振器技术主要的研究方向

1.2.3 薄膜体声波谐振器所用材料的研究

1.2.4 布拉格反射栅的研究

1.2.5 体声波谐振器制备工艺的研究

1.3 本文的主要研究内容和相关工作

第2章 FBAR压电层模型建立及影响因素分析

2.1 引言

2.2 FBAR压电层的工作原理

2.2.1 压电材料的基本方程

2.2.2 压电薄膜中力学量的化简

2.2.3 压电薄膜中的声波传输

2.2.4 压电层的谐振特性

2.3 FBAR器件的力学模型设计

2.3.1 带电极FBAR的阻抗表达式

2.3.2 带电极FBAR的谐振特性曲线

2.3.3 FBAR损耗的力学表述

2.3.4 FBAR的主要指标

2.4 FBAR器件性能影响因素分析

2.4.1 不同压电材料的影响

2.4.2 电极的影响

2.4.3 谐振面积对FBAR性能的影响

2.5 本章小结

第3章 FBAR布拉格反射栅的设计

5.1 引言

5.2 传输线理论模型

3.2.1 传输线的基本方程

3.2.2 力学的传输线类比

3.2.3 Mason等效模型

3.3 SMR-FBAR的软件模拟

3.3.1 压电薄膜的模块

3.3.2 普通声学层的模块

3.3.3 SMR-FBAR的电路模拟

3.4 布拉格反射栅的设计

3.4.1 布拉格反射栅的结构和尺寸的确定

3.4.2 布拉格反射栅对器件热性能的影响分析

3.4.3 布拉格反射栅对器件谐振曲线的影响分析

3.5 本章小结

第4章 FBAR布拉格反射栅多层结构的制备及表征

4.1 引言

4.2 布拉格反射栅多层结构的制备

4.2.1 氧化硅薄膜材料的制备

4.2.2 钨薄膜材料的制备

4.2.3 非晶碳薄膜材料的制备

4.2.4 纳米金刚石薄膜材料的制备

4.2.5 多层薄膜结构的制备

4.3 布拉格反射栅多层结构的性能研究

4.3.1 布拉格反射栅高声阻抗层表面形貌表征

4.3.2 布拉格反射栅高声阻抗层晶态结构测试

4.3.3 布拉格反射栅高声阻抗层力学性能表征

4.3.4 薄膜密度测试

4.3.5 多层薄膜结构的热稳定性研究

4.4 实验结果与仿真的对比分析

4.4.1 布拉格布拉格反射栅结构的影响

4.4.2 不同高声阻抗材料的影响

4.5 本章小结

结论

参考文献

攻读博士学位期间发表的论文及其它成果

声明

致谢

个人简历