锆钛锡酸镧铅基铁电薄膜的制备及其电卡与储能效应研究

目录

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第一章 绪论

1.1引言

1.2 铁电体基本特性

1.3 铁电薄膜概述

1.3.1 反铁电薄膜材料

1.3.2 弛豫铁电材料

1.4 铁电/反铁电薄膜的制备方法

1.4.1 脉冲激光沉积

1.4.2 磁控溅射法

1.4.3 金属有机化学气相沉积法

1.4.4 溶胶凝胶法

1.5电介质能量储存及其研究现状

1.5.1 电介质能量储存原理

1.5.2 铁电材料储能电容器研究进展

1.6 铁电材料电卡效应概述与研究现状

1.6.1 电卡效应及制冷原理

1.6.2 铁电材料电卡效应的研究进展

1.7 本论文的提出及研究内容与意义

第二章 实验制备与表征技术

2.1 实验原材料

2.1.1 PLZST 与 Mn-doped PLZST 基薄膜实验原料

2.2实验使用仪器设备

2.3 结构表征

2.3.1 物相分析

2.3.2 形貌分析

2.4 电介质性能测试

2.4.1 上下电极的制备

2.4.2 介电性能

2.4.3 铁电性能

2.5实验过程

2.5.1 PLZST 基薄膜的制备

2.5.2 Mn掺杂 PLZST基薄膜的制备

2.6 本章小结

第三章 反铁电PLZST基薄膜的电卡性能研究

3.1 引言

3.2 结果与分析

3.2.1 物相分析

3.2.2 形貌分析

3.2.3 介电性能分析

3.2.4 电卡性能分析

3.3 本章小结

第四章 反铁电PLZST薄膜及掺杂Mn 薄膜的储能性能研究

4.1 引言

4.2 结果与分析

4.2.1 物相分析

4.2.2 形貌分析

4.2.3 介电性能分析

4.2.4 储能性能分析

4.3本章小结

第五章 总结与展望

5.1 论文总结

5.1.2 创新点

5.2 工作展望

参考文献

致谢

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