封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章 绪 论
1.1 太阳能电池的研究意义
1.2 太阳能电池的发展状况
1.3 多晶硅的结构特点
1.4 多晶硅薄膜的制备方法
1.5 研究目的与研究意义
第二章 实验过程及其测试
2.1 非晶硅薄膜的制备
2.2 金属薄膜的制备
2.3 非晶硅薄膜的晶化
2.4 测试分析方法
第三章 非晶硅薄膜的固相晶化
3.1 XRD谱分析
3.2 Raman光谱分析
3.3 SEM分析
3.4 紫外可见光谱分析
3.5本章小结
第四章 非晶硅薄膜的金属诱导晶化
4.1 铝膜诱导非晶硅薄膜的晶化研究
4.2 金膜诱导非晶硅薄膜的晶化研究
4.3 金属诱导非晶硅薄膜晶化的机理研究
4.4 本章小结
结 论
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间的研究成果