锶基非晶薄膜与多晶陶瓷的制备及其电性能研究

目录

第一章 绪 论

1.1 引言

1.2新型非易失性存储器分类

1.2.1铁电随机存储器(FeRAM)

1.2.2 磁阻随机存储器(MRAM)

1.2.3 相变存储器(PCM)

1.2.4 阻变随机存储器(RRAM)

1.3薄膜的制备工艺

1.3.1薄膜的制备工艺

1.3薄膜的测试方法

1.3.1 X射线光电子能谱图

1.3.2 微区形貌结构

1.3.3 铁电性

1.3.3 阻变特性

1.4 选题背景和课题主要内容

1.4.1 选题依据

1.4.2 研究内容

第二章 SrTiO3 薄膜的制备及阻变性能研究

2.1 前言

2.2 薄膜制备与性能测试

2.3 结果与分析

2.3.1 STO的微观结构

2.3.2 I-V特性曲线和阻变特性分析

2.3.3 XPS分析

2.3.4传导机制分析

2.3.5导电丝原理

2.4本章小结

第三章 SrO(SrTiO3)n薄膜的制备及性能研究

3.1 前言

3.2 薄膜的制备与性能测试

3.3 结果与分析

3.3.1 XPS和截面形貌分析

3.3.2 I-V特性曲线

3.3.3 漏电流及传导机制

3.3.4 阻变性能分析

3.3.5 疲劳性测试

3.4本章小结

第四章 受主掺杂的SrFe0.1Ti0.9O3-δ薄膜的阻变特性研究

4.1 前言

4.2 薄膜的制备与性能测试

4.3 结果与分析

4.3.1 XPS分析

4.3.2 测试示意图和结构分析

4.3.3 I-V特性和漏电流

4.3.4 阻变特性

4.3.6 铁电性

4.4本章小结

第五章 非晶BFCO薄膜的制备及其电学性能研究

5.1 前言

5.2 制备方法与性能测试

5.3 结果与分析

5.3.1 XPS分析

5.3.2 截面形貌

5.3.3 漏电流分析

5.3.4 阻变效应

5.3.5 传导机制

5.4 本章小结

第六章 SrxBa1-xNb2O6铁电陶瓷的热能量收集性能和电卡效应

6.1 前言

6.2 样品的制备与性能测试

6.3 结果与分析

6.3.1结构分析

6.3.2铁电性能

6.3.3 介电和阻抗分析

6.3.4电卡效应

6.3.5热能量收集和储能特性

6.4 本章小结

结论

参考文献

攻读硕士期间发表的论文

声明

致谢