1 绪 论
1.1 引言
1.2 半导体气体传感器概述
1.2.1 半导体气体传感器的分类及工作原理
1.2.2 半导体气体传感器的主要参数
1.2.3 半导体气敏传感器的应用与研究进展
1.3 二硫化钼气敏材料概述
1.3.1 MoS2的晶体结构与基本性质
1.3.2 MoS2制备方法
1.3.3 MoS2气敏传感器研究进展
1.4.1 本论文的研究的意义、目的
1.4.2 本论文的主要内容
2 材料制备及表征方法
2.1 实验材料
2.2 实验设备
2.3 实验方案
2.4 材料结构表征
2.4.1 X射线衍射仪(XRD)
2.4.2 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)
2.4.3透射电子显微镜(TEM)
2.5 气敏性能表征
2.5.1衬底薄膜传感器的制备
2.5.2 气敏性能测试
3 分层MoS2纳米球的合成及气敏性能
3.1 引言
3.2 分层MoS2纳米球的制备
3.3 样品表征与分析
3.3.1 物相分析
3.3.2 形貌分析
3.4 MoS2纳米球生长机理
3.5 MoS2纳米球气敏性能
3.6 MoS2纳米球气敏机理研究
3.7 本章小结
4 分层多孔MoS2纳米球的合成及气敏性能
4.1 引言
4.2 多孔MoS2纳米球的制备
4.3 样品表征与分析
4.3.1 物相分析
4.3.2 形貌分析
4.4 多孔MoS2纳米球生长机理
4.5 多孔MoS2纳米球气敏性能
4.6 多孔MoS2纳米球气敏机理研究
4.7 本章小结
5 分层多孔Cu2O-MoS2微球的合成及气敏性能
5.1 引言
5.2 制备过程
5.2.1 分层多孔MoS2微球的制备
5.2.2 Cu2O纳米颗粒的制备
5.2.3 多孔Cu2O-MoS2微球的制备
5.3 样品表征与分析
5.3.1 物相分析
5.3.2 形貌分析
5.4 多孔Cu2O-MoS2微球生长机理
5.5 多孔Cu2O-MoS2微球气敏性能
5.6 多孔Cu2O-MoS2微球气敏机理研究
5.7 本章小结
6 结论与展望
6.1 结论
6.2 展望
参考文献
附录
A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文
B. 作者在攻读学位期间取得的科研成果目录
C. 学位论文数据
致谢
声明
重庆大学;