封面
声明
致谢
中文摘要
英文摘要
目录
图清单
表清单
1 绪 论
1.1 课题研究背景、目的及意义
1.2 三维微触觉测头的国内外研究现状
1.3 本文主要研究内容
2 MEMS电容式三维微触觉测头设计
2.1 测头结构及原理
2.2 微电容传感器工艺及制备
2.3 测头数据采集系统
2.4 测头装配及封装
2.5 本章小结
3 MEMS压阻式三维微触觉测头设计
3.1 测头结构及原理分析
3.2 悬挂系统加工工艺及流程
3.3 测头数据采集系统设计
3.4 测头装配及封装设计
3.5 本章小结
4 微触觉测头性能测试
4.1 测头校准装置
4.2 MEMS电容式三维微触觉测头性能测试
4.3 MEMS压阻式三维微触觉测头性能测试
4.4 两种测头性能参数对比分析
4.5 微观尺度下测头探测的影响机理研究
4.6 本章小结
5 总结与展望
5.1 全文总结
5.2 本论文创新点
5.3 工作展望
参考文献
附录A 压阻测头数据采集电路原理图
附录B 压阻测头数据采集电路PCB版图
附录C 压阻测头数据采集系统实物图
附录D 压阻测头数据采集系统程序
作者简介