基于低维材料的新型场效应晶体管的设计、构筑与性能研究

目录

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摘要

第1章绪论

1．1低维材料

1．1．1碳纳米管

1．1．2层状二维材料的发现

1．1．3石墨烯

1．1．4二维碲化镓

1．1．5六方氮化硼

1．1．6过渡族金属二硫化物

1．2范德华异质结

1．3浮栅存储器

1．4鳍式场效应晶体管

1．5本论文的研究内容和意义

第2章材料表征与器件构筑

2．1引言

2．2．1光学显微镜

2．2．2扫描电子显微镜

2．2．3透射电子显微镜

2．2．4原子力显微镜

2．3物性表征

2．3．1拉曼光谱

2．3．2光致发光谱

2．4千法转印平台

2．5场效应晶体管器件的构筑

2．5．1紫外光刻

2．5．2电子束曝光

2．5．3金属电极制备

2．5．4原子层沉积

2．5．5刻蚀装置

2．6快速退火装置

2．7金丝球焊机

2．8电学测量装置

2．9本章小结

第3章二维碲化镓范德华异质结多值浮栅存储器

3．1引言

3．2二维碲化镓范德华异质结浮栅存储器的设计及构筑

3．3存储器的储存性能研究

3．4存储器的多值存储研究

3．5本章小结

第4章柔性碳纳米管浮栅存储器

4．1引言

4．2碳纳米管浮栅存储器的构筑及表征

4．3柔性碳纳米管浮栅存储器的构筑及性能

4．4用于光传感器的柔性浮栅存储器阵列

4．5本章小结

第5章单原子层鳍式场效应晶体管

5．1引言

5．2过渡族金属硫化物鳍式场效应晶体管的设计和构筑

5．3碳纳米管鳍式场效应晶体管的设计和构筑

5．4鳍式场效应晶体管的电学输运特性

5．5本章小结

第6章结论与展望

6．1结论

6．2展望

参考文献

致谢

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