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第一章 绪论
1.1 光导开关的的研究背景
1.2 光导开关的发展
1.3 SiC光导开关的仿真
1.4 本文主要研究内容和创新点
第二章 碳化硅光导开关的建模
2.1 常见的碳化硅光导开关结构
2.2 仿真思路
2.3 碳化硅光导开关基本原理
2.4 AZO透明电极
2.5 Ag反射层的作用
2.6 模型建立
2.7 本章小结
第三章 仿真结果与分析
3.1 正照结构的耐压性能
3.2 暗态下的耐压性能
3.3 光照下开关耐压变化
3.4 正照开关量子效率仿真
3.5 侧面照射
3.6 本章小结
第四章 三维仿真与实验
4.1 三维结构仿真
4.2 光照下三维开关电场分布
4.3 三维仿真瞬态响应
4.4 实验制备的开关
4.5 实验测试平台介绍
4.6 实验测试结果
4.7 本章小结
第五章 总结和展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
致谢
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