安定性に優れたAZO：X透明導電膜形成技術の開発に成功-ITO透明電極の代替技術にメド-

摘要

現在液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用達明電極にはインジウム·スズ酸化物（ITO）膜が使用されている．しかしながら，ITO膜は主原料に希少金属（レアメタル）のインジウム（In）を使用しており，近年In価格の高騰および生産が中国からの輸入に依存することから安定供給に懸念が生じており，液晶ディスプレイの基幹部品の一つであるITO薄膜透明電極の代替材料の開発が急務である．