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目录
第一章 引 言
1.1研究背景与意义
1.2国内外发展动态
1.3论文主要内容
第二章 应变硅性能提升机理及应变器件小尺寸化
2.1硅基应变性能提升机理
2.2小尺寸器件应力提升机理与应变方法
2.3本章小结
第三章 应力集中应变MOSFET力学特性研究
3.1应力集中效应分析
3.2 小尺寸MOSFET应力集中孔力学特性分析
3.3矩形孔应力集中MOSFET尺寸优化
3.4本章小结
第四章 应力集中应变小尺寸器件电学特性研究
4.1小尺寸应力集中MOSFET电学参数分析
4.2应力集中器件驱动能力提升
4.3应力集中器件寄生寄生参数影响分析
4.4 本章总结
第五章 应力集中器件关键制备工艺研究
5.1基于SIMOX技术的应力集中器件制作工艺
5.2基于国内SOI工艺的应力集中器件工艺
5.3基于锗硅虚拟衬底的应力集中器件制作工艺
5.4本章小结
第六章 结 论
致谢
参考文献
攻读硕士期间取得的研究成果