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目录
第一章 绪 论
1.1 微波等离子体的特点及其应用
1.2 小型微波等离子炬的国内外研究现状及意义
1.3 微波加热的特点和微波炉的国内外研究现状及意义
1.4 三维电磁仿真软件HFSS概述
1.5 本论文的内容安排及创新点
第二章 微波谐振腔基本特性
2.1 谐振腔的基本特性
2.2 λ/4同轴谐振腔基本结构及其电磁特性
2.3 圆柱形谐振腔
2.4 本章小结
第三章 小型低功率微波等离子炬装置设计
3.1 建立仿真模型
3.2 腔体结构设计
3.3 带汽缸模型仿真
3.4 装置加工及基本特性测试
3.4 本章小结
第四章 小型低功率微波等离子炬实验
4.1 实验平台
4.2 实验步骤与结果分析
4.3 本章小结
第五章 圆柱形微波炉腔体仿真设计
5.1 磁控管天线仿真模型
5.2 微波炉传输波导
5.3 微波炉耦合窗
5.4 微波炉炉腔
5.5 圆柱微波炉模型仿真设计
5.6 利用HFSS场计算器求解电场均匀性
5.7 均匀性分析
5.8 本章小结
第六章 总结与展望
致谢
参考文献
攻硕时期获得的研究成果