声明
第一章 概述
1.1 论文背景与意义
1.2国内外研究现状
1.3研究内容
1.4 技术指标要求
第二章 PIN二极管的设计理论
2.1 PIN二极管物理结构
2.1.1零偏置时
2.1.2正向偏置时
2.1.3反向偏置时
2.2 PIN二极管工作原理
2.3 PIN二极管等效电路图
2.4本章小结
第三章 PIN二极管的设计与实现
3.1结构设计
3.1.1传统结构
3.1.2 改进新结构
3.2芯片设计
3.2.1 芯片设计的基本思路
3.2.2芯片电参数设计计算与仿真
3.3 工艺实现
3.3.2芯片结构的选择
3.3.3钝化方式的选择
3.3.4电极系统的选择
3.3.5 P+区工艺的选择
3.3.6基本工艺流程
3.4本章小结
第四章 关键工艺研究
4.1深台面腐蚀工艺技术
4.1.2干法刻蚀
4.1.3湿法腐蚀
4.2高压玻璃钝化工艺技术
4.2.1玻璃粉的配制
4.2.2玻璃粉的涂敷
4.2.3玻璃的烧结成型
4.3 SMD方形陶瓷外壳加工技术
4.3.1外壳设计
4.3.2外壳制作
4.4本章小结
第五章 验证与实验分析
5.1研制目标实现情况
5.1.1产品外形
5.1.2电性能
5.2考核试验
5.2.3检验项目
5.3本章小结
第六章 总结
参考文献
作者简介
致谢
