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摘 要
Abstract
1 绪论
1.1 课题研究背景
1.1.1 声表面波传感器
1.1.2 声子晶体
1.2 基于声子晶体的声表面波器件的应用及其发展趋势
1.2.1 基于声子晶体的声表面波器件的应用
1.2.2 基于声子晶体的声表面波器件的发展趋势
1.3 课题研究方法
1.4 研究内容及来源
2 声表面波谐振器的建模与设计
2.1 声表面波谐振器的原理
2.2 声表面波谐振器的有限元模型
2.2.1 几何模型
2.2.2 声表面波谐振器的材料设置
考虑到铝材料不仅具有卓越的电学性能，且与硅、氮化铝等材料声学阻抗匹配良好，同时价格低廉，因此选择铝作
2.2.3 边界条件
2.2.4 结果与讨论
2.3 IDT结构对器件性能的影响
2.3.1 金属化率的影响
2.3.2 电极高度的影响
2.3.3 叉指电极周期数的影响
2.4 压电材料对器件性能的影响
2.5 本章小结
3 二维声子晶体的设计
3.1 二维声子晶体的能带结构理论
3.2 二维声子晶体的有限元模型
3.3 影响二维声子晶体禁带的一些因素
3.3.1 基体与孔洞的几何参数
3.3.2 基体的材料
3.4 X型孔洞声子晶体的设计
3.5 本章小结
4.1 基于二维声子晶体的谐振器设计
4.1.1 声子晶体结构对谐振器的影响
4.1.2 材料对谐振器的影响
4.2 基于二维声子晶体的温度传感器设计
4.3 本章小结
5 总结与展望
5.1 论文总结
5.2 进一步的工作
致 谢
参考文献
