声明
1 绪论
1.2 外部噪声差分抑制的研究现状
1.2.1 9 理论研究现状
1.2.2 实验研究现状
1.3 选题目的及研究内容
2 片上差分结构薄膜磁电传感器的设计
2.2 磁电复合材料的选择
2.2.1 压电层材料
2.2.2 磁致伸缩层材料
2.3 差分参考单元材料的选择
2.3.1 仿真模型
2.3.2 仿真结果
2.4 本章小结
3 PZT/FeCoSiB磁电复合薄膜的制备与表征
3.1 PZT薄膜的优化生长
3.1.1 PZT薄膜的Sol-gel法制备
3.1.2 PZT薄膜的PLD法制备
3.2 PZT薄膜的测试及分析
3.2.1 XRD测试分析
3.2.2 SEM和AFM形貌测试分析
3.2.3 铁电、压电性能测试分析
3.3 FeCoSiB薄膜的制备与性能表征
3.4 本章小结
4 片上差分结构薄膜磁电传感器的制备与测试
4.1.1 PZT的制备与刻蚀
4.1.2 绝缘层的制备
4.1.3 FeCoSiB和非磁性金属Al的制备
4.1.4 器件微桥结构的制备
4.1.5 器件制备结果
4.2.1 测试原理
4.2.2 测试平台
4.2.3 测试结果及分析
4.3 热噪声差分抑制测试和分析
4.3.1 测试平台
4.3.2 测试结果及分析
4.4 本章小结
5 总结与展望
5.2 本文创新点
5.3 工作展望
致谢
参考文献
附录1 攻读学位期间发表论文目录
