白光干涉大范围表面测量的重构与拼接算法的研究

目录

声明

1 绪 论

1.1 课题研究目的及意义

1.2 国内外研究概况

1.2.1 表面拼接测量技术

1.2.2 数据拼接技术

1.3 本文的安排

1.4 课题来源

2 白光干涉大范围表面形貌测量

2.1 白光干涉测量原理

2.2 大范围表面形貌测量

2.3 测量软件系统

2.3.1 测量软件系统功能要求

2.3.2 硬件调试模块

2.3.3 测量功能模块

2.4 本章小结

3 三维表面形貌白光干涉重构算法

3.1 表面形貌重构算法分析

3.2 重构算法的影响因素

3.2.1 噪声对重构算法的影响

3.2.2 步距对重构算法的影响

3.2.3 光源对重构算法的影响

3.3 Stoilov重构算法的改进

3.4 本章小结

4 基于局部不变特征的三维表面形貌拼接算法

4.1 表面形貌特征分析

4.2 表面形貌特征提取算法

4.2.1 尺度空间的建立

4.2.2 特征点的检测与定位

4.2.3 边缘特征点的剔除

4.2.4 特征点的向量描述

4.3 特征点匹配

4.4 三维表面形貌融合算法

4.5拼接仿真与实例分析

4.5.1 不同重合度的拼接仿真

4.5.2 三维表面形貌拼接实例

4.6 本章小结

5 测量系统和实验分析

5.1 测量软件系统

5.2 三维表面形貌拼接试验

5.2.1 微结构拼接实验

5.2.2 M型微结构拼接实验

5.3 拼接误差分析

5.3.1 水平拼接误差分析

5.3.2 垂直拼接误差分析

5.4 本章小结

6 总结与展望

6.1 全文总结

6.2 对未来工作的展望

致谢

参考文献

附录1