声明
1绪论
1.1 研究背景及意义
1.1.1 课题来源
1.1.2 课题背景及意义
1.2国内外研究现状
1.2.1 超精密加工机床
1.2.2 几何误差建模方法
1.2.3 几何误差测量及灵敏度分析
1.2.4 超精密车削加工技术及误差辨识
1.3 本文的主要研究内容
2 超精密车床几何误差建模与测量
2.1 引言
2.2 超精密车床的结构分析
2.3 超精密车床几何误差分析与建模
2.3.1 超精密车床几何误差源分析
2.3.2 基于齐次坐标变换的机床运动学描述
2.3.3 超精密车床几何误差模型推导
2.4 超精密车床线性轴的几何误差测量
2.4.1 激光干涉仪的测量原理
2.4.2 线性轴定位精度的测试结果分析
2.4.3 线性轴角度误差的测试结果分析
2.4.4 线性轴直线度误差的测试结果分析
2.5 小结
3 超精密车床几何误差项灵敏度分析
3.1 引言
3.2 基于Sobol方法的全局灵敏度分析
3.2.1 Sobol灵敏度分析理论
3.2.2 准蒙特卡洛估计法求解Sobol灵敏度
3.3 超精密车床加工空间内的误差灵敏度分析
3.3.1 X向误差分量的灵敏度分析
3.3.2 Y向误差分量的灵敏度分析
3.3.3 Z向误差分量的灵敏度分析
3.4 针对具体加工面形的误差灵敏度分析
3.4.1 端面切削时的误差灵敏度分析
3.4.2 正弦阵列面切削时的误差灵敏度分析
3.5 本章小结
4 超精密车削加工及补偿实验
4.1 引言
4.2 端面加工及补偿实验
4.2.1 超精密端面车削加工
4.2.2 端面加工过程的误差辨识
4.2.3 端面加工误差补偿实验结果
4.3 正弦阵列曲面加工及补偿实验
4.3.1 复杂曲面慢刀伺服加工原理
4.3.2 金刚石刀具加工干涉检查
4.3.3 正弦阵列曲面加工轨迹生成
4.3.4 正弦阵列曲面加工实验
4.3.5 曲面补偿加工结果
4.4 本章小结
5 结论与展望
5.1 全文总结
5.2 研究展望
致谢
参考文献
