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目录
第1章 绪论
1.1引言
1.2蓝宝石晶体的基本性质
1.3蓝宝石工业制备方法
1.4蓝宝石晶体行业概述
1.5科研现状
1.6主要研究内容
第2章 泡生法单晶炉设备及工艺流程
2.1晶体生长设备简介
2.2工艺流程
2.3本章小结
第3章 长晶过程物理数学模型分析
3.1结晶驱动
3.2成核阐述
3.3传热模型概述
3.4泡生法生长过程控制方程
3.5本章小结
第4章 生长炉建模及ANSYS/FLUENT仿真
4.1有限元仿真
4.2参数说明及建模
4.3 ANSYS/FLUENT仿真过程说明
4.4模拟结果分析
4.5晶体生长过程中的热传递
4.6温场可控性分析
4.7本章小结
第5章 等径过程自适应模糊P ID控制器设计及仿真
5.1引言
5.2等径过程特性分析
5 .3基于上称重的自适应模糊PID控制器设计
第6章 总结与展望
6.1总结
6.2展望
参考文献
攻读学位期间研究成果
致谢