退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
文摘
英文文摘
第一章绪论
第二章光学自适应微镜的设计
第三章微镜制作工艺
3.1 MEMS加工制造工艺介绍
3.2微镜工艺实现方法
3.3微镜制造工艺流程的设备
3.4微镜制作
参考文献
第四章微镜测试结果和分析
第五章总结与展望
致 谢
裴旦;
浙江大学;
微反射镜; 微光机电系统; 光刻显影; 湿法刻蚀; 镀膜; 微变形镜阵列;
机译:芝加哥大学自适应光学系统的变形镜设计与制造
机译:大行程微静电致动器,用于自适应光学系统中微镜的垂直平移
机译:光学微扫描热显微镜成像系统的自适应位置校准技术
机译:微光学存储微光学组件的设计与制造微镜
机译:精密自由曲面光学镜和微玻璃光学器件的热成型工艺。
机译:用于光学相干层析成像的2轴电热MEMS微扫描仪的设计与制造
机译:用于6.5米mmT转换的自适应光学系统,用于大型望远镜的自适应光学系统的高分辨率成像技术,以及用于世界上最大望远镜的高级自适应光学系统
机译:例如在光敏器件中使用的基于裸眼的衍射光调制器。光学存储器,具有上微镜,该上微镜在中心包括开孔,因此它根据上微镜和下微镜之间的高度差反射/衍射入射光
机译:生产用于光学组件的机械驱动系统,特别是用于自适应光学组件和微镜的机械驱动系统
机译:微镜装置的微镜结构,具有在一个镜部沉积到另一镜部上的过程中通过涂覆工艺在镜部之间形成的接触区域。
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。