摘要
第一章绪论
1.1光电子领域中的“晶体管”—微环
1.2微环谐振结构的发展历史与现状
1.2.1微环的结构
1.2.2微环的材料
1.3玻璃基微环的研究意义
1.4本论文的主要工作和结构
参考文献:
第二章微环谐振腔原理
2.1耦合理论
2.2环形谐振腔的基本原理
2.3全通滤波器结构
2.4环形谐振腔的性能参数
参考文献
第三章玻璃基微环谐振腔的设计
3.1单模条件
3.1.1掩埋波导
3.1.2非掩模波导
3.2弯曲损耗和弯曲半径
3.3直波导与环的耦合
3.4设计版图
参考文献
第四章玻璃基微环的制作与结果
4.1工艺流程
4.2搭建测试平台
4.3一次交换制作结果
4.3.1一次交换-BK7
1.3.2 一次交换-BK7和B270对比实验
1.3.3 一次交换-K9
4.4二次交换制作结果
4.4.1二次交换-Z0
4.4.2二次交换-Z1
4.5实验结果分析总结
参考文献
第五章总结与展望
5.1总结
5.2展望
参考文献
致谢