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致谢
第1章 绪论
1.1课题背景与研究意义
1.1.1课题背景
1.1.2研究意义
1.2国内外研究现状
1.2.1微纳结构三维复杂形貌的测量技术综述
1.2.2微纳结构三维复杂形貌的测量技术评述
1.3扫描隧道显微镜的概述
1.3.1纳米科技与扫描隧道显微镜
1.3.2扫描隧道显微镜的工作原理
1.3.3扫描隧道显微镜的系统结构
1.3.4扫描隧道显微镜的优缺点
1.4论文主要研究内容
1.5本章小结
第2章 电化学研磨法定制大长-径比扫描探针技术
2.1电化学研磨法原理
2.2电化学研磨法探针制备装置
2.2.1总体结构
2.2.2钨丝夹持机构
2.2.3钨丝对中机构
2.2.4钨丝进给机构
2.3探针制备装置控制系统
2.3.1微小电流检测电路模块
2.3.2步进电机控制模块
2.3.3断电控制模块及人工断电的介入
2.4大长-径比扫描探针定制试验
2.4.1基本参数的确定
2.4.2探针定制试验结果
2.5本章小结
第3章 大范围、高深-宽比扫描隧道显微镜系统及其关键技术
3.1测量系统组成及其关键技术
3.1.1测量系统机械结构
3.1.2扫描系统
3.1.3数据采集系统
3.2测量系统控制软件
3.2.1隧道电流闭环控制
3.2.2样品-探针自动进给控制
3.2.3测量数据的滤波、校正
3.3本章小结
第4章 大范围、高深-宽比扫描隧道显微镜子系统性能测试分析
4.1压电陶瓷的性能测试
4.2系统响应测试
4.3测量环境对系统的影响
4.4大长-径比探针力学及动态特性检测
4.5本章小结
第5章 大范围、高深-宽比三维微纳形貌测量试验
5.1高深-宽比正弦光栅的测试及分析
5.2大范围方波形貌微纳结构的测量及分析
5.3新型STM系统综合性能评价
5.4本章小结
第6章 总结及展望
6.1总结
6.2展望
参考文献
硕士期间发表的论文