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致谢
摘要
1 绪论
1.1 引言
1.2 微夹持器研究现状
1.2.1 微夹持器本体柔顺机构研究现状
1.2.2 微夹持器驱动方式研究现状
1.2.3 微夹持器传感配置研究现状
1.3 本文的主要研究内容
2 压电驱动柔性双摇杆式微夹持器结构设计与数学建模
2.1 引言
2.2 柔性双摇杆式微夹持器结构与工作机理
2.3 柔性双摇杆式微夹持器数学建模
2.3.1微夹持器放大系数推导
2.3.2 微夹持器静力学建模
2.3.3 基于Lagrange方程的动力学方程推导
2.4 夹持位移传感配置分析
2.5 夹持力传感配置分析
2.6 本章小结
3 双摇杆式微夹持器有限元仿真分析
3.1 引言
3.2 微夹持器静力学仿真分析
3.2.1 放大系数分析
3.2.2 夹持端平行度分析
3.3 微夹持器模态分析
3.4 微夹持器阶跃响应仿真分析
3.5 微夹持器频率响应仿真分析
3.6 微夹持器夹持位移传感配置仿真分析
3.7 微夹持器夹持力传感配置仿真分析
3.8 本章小结
4 压电驱动双摇杆式微夹持器测控平台搭建
4.1 引言
4.2 实验测试系统整体框架
4.2.1 压电陶瓷驱动电源
4.2.2 叠堆压电陶瓷
4.2.3 检测与控制装置
4.3 软件平台设计
4.4 本章小结
5 双摇杆式微夹持器实验研究
5.1 引言
5.2 夹持位移传感器标定
5.3 夹持力传感器标定
5.4 输入输出位移曲线
5.5 双摇杆式微夹持器动态特性分析
5.6 微夹持器夹持特性分析
5.7 本章小结
6 总结与展望
6.1 全文工作总结
6.2 今后研究方向及其展望
参考文献