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摘要
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缩写、符号清单、术语表
1绪论与综述
1．1研究背景与意义
1．2经济模型预测控制与间歇过程优化控制研究现状
1．2．1 模型预测控制研究现状
1．2．2经济模型预测控制研究现状
1．2．3 间歇过程优化控制研究现状
1．3论文研究解决的问题
1．4论文研究内容与结构
2基于干扰选择反馈控制的间歇过程经济集成鲁棒设计
2．1引言
2．2过程模型与经济目标
2．3基于传统反馈控制的经济集成鲁棒设计
2．4基于干扰选择反馈控制的经济集成鲁棒设计
2．4．1 基于干扰的反馈控制策略
2．4．2选择反馈控制策略
2．4．3经济集成鲁棒设计
2．5仿真结果
2．5．1基于一组对称干扰的仿真实例
2．5．2基于随机生成干扰的仿真实例
2．6本章小结
3基于迭代学习控制(ILC)的间歇过程经济模型预测控制
3．1引言
3．2过程模型与优化策略
3．3批次间基于ILC的经济模型预测控制
3．4批次内基于ILC的经济模型预测控制
3．5仿真结果
3．5．1 批次间干扰变化：重复性干扰仿真实例
3．5．2批次内干扰变化：非重复性干扰仿真实例
3．6本章小结
4基于平均经济性能非固定终端时间的间歇过程经济模型预测控制
4．1引言
4．2过程模型与控制方法
4．3间歇过程的经济MPC
4．3．1 非固定终端时间优化
4．3．2平均经济性能优化
4．3．3 提前终止机制
4．4终端时间有界性以及终端约束可达性
4．4．1 终端时间有界性
4．4．2终端约束可达性
4．5仿真结果
4．5．1 无干扰过程仿真实例
4．5．2市场波动干扰仿真实例
4．5．3提前终止仿真实例
4．6本章小结
5基于衰退PLS模型的经济Run-to-Run控制在半导体过程的应用
5．1引言
5．2过程模型与标准PLS
5．3基于衰退的PLS建模方法
5．4经济Run-to-Run控制
5．5仿真结果
5．5．1 模型预测能力仿真实例
5．5．2模型控制能力仿真实例
5．5．3 经济Run-to-Run控制仿真实例
5．6本章小结
6总结与展望
6．1工作总结
6．2研究展望
参考文献
攻读博士期间科研成果
作者简介
浙江大学;
