太阳能电池生产线PECVD设备三维建模与仿真优化

摘要

本文以太阳能电池生产线中的PECVD设备为研究对象,对其进行三维仿真建模与有限元分析,进而选择综合性能最优的本体材料,并对送料结构进行了机构创新,设计出符合我国企业工况的PECVD设备。此项研究为我国PECVD设备国产化提供了参考理论。全文工作和取得的成果概括如下:
　　在测绘PECVD设备得到的二维CAD图的基础上,运用SolidWorks软件分别建立出了各个零件的三维实体模型,并将其按顺序组装成为装配体,从而得到PECVD设备的三维实体模型。
　　以2024号铝合金和不锈钢作为材料,对设备中最关键、受力最大、最容易变形的三个零件—极板、侧板和下支架桥分别进行分析,根据有限元分析结果比较材料优劣性,从而确定符合要求的材料。
　　为解决极板易划伤镀膜玻璃板问题,设计出一种新型的送料机构,将玻璃板的紧贴送入过程分解为先送入后夹紧,有效地降低了废品率。并通过动态仿真证实了机构的可行性。

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第一章 绪论

1.1课题的研究背景和意义

1.2 国内外发展状况

1.3 本文的研究内容

第二章 PECVD设备三维实体模型的建立

2.1引言

2.2三维实体造型技术概述

2.3三维建模软件的选择

2.4建立零件模型

2.5零件装配成装配体

2.6小结

第三章 PECVD设备的有限元分析

3.1引言

3.2有限元技术和ANSYS应用软件

3.3 PECVD设备的有限元模型和计算

3.4小结

第四章 PECVD设备送料机构创新设计

4.1引言

4.2机械创新设计方法简介

4.3送料机构的创新设计

4.4小结

第五章 结论和展望

5.1结论

5.2展望

参考文献

发表论文和科研情况说明

致谢